<?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?>
<collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim">
 <record>
  <leader>     cam a22     u  4500</leader>
  <controlfield tag="001">12862079X</controlfield>
  <controlfield tag="003">CHVBK</controlfield>
  <controlfield tag="005">20200921121556.0</controlfield>
  <controlfield tag="008">880212s1980    xxu    |      00   |eng|d</controlfield>
  <datafield tag="020" ind1=" " ind2=" ">
   <subfield code="a">0-12-341818-6</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="035" ind1=" " ind2=" ">
   <subfield code="a">(OCoLC)636348347</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="035" ind1=" " ind2=" ">
   <subfield code="a">(NEBIS)000242010</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="040" ind1=" " ind2=" ">
   <subfield code="a">ETH-BIB</subfield>
   <subfield code="b">ger</subfield>
   <subfield code="c">ETH-BIB</subfield>
   <subfield code="e">ETHICS-ISBD</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="245" ind1="0" ind2="0">
   <subfield code="a">Ion Implantation</subfield>
   <subfield code="c">ed.: James Karsten Hirvonen</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="260" ind1=" " ind2=" ">
   <subfield code="a">New York a.o.</subfield>
   <subfield code="b">Academic Press</subfield>
   <subfield code="c">1980</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="300" ind1=" " ind2=" ">
   <subfield code="a">XIV, 502 p.</subfield>
   <subfield code="b">fig.; tab.</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="490" ind1="0" ind2=" ">
   <subfield code="a">Treatise on materials science and technology</subfield>
   <subfield code="v">vol. 18</subfield>
   <subfield code="i">18</subfield>
   <subfield code="w">(NEBIS)000013610</subfield>
   <subfield code="9">273109855</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="650" ind1=" " ind2="7">
   <subfield code="a">IONENIMPLANTATION (ELEKTRODYNAMIK)</subfield>
   <subfield code="x">ger</subfield>
   <subfield code="0">(ETHUDK)000015158</subfield>
   <subfield code="2">ethudk</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="691" ind1=" " ind2="7">
   <subfield code="B">u</subfield>
   <subfield code="a">IONENIMPLANTATION (ELEKTRODYNAMIK)</subfield>
   <subfield code="z">ger</subfield>
   <subfield code="u">537.534.08*1</subfield>
   <subfield code="2">nebis E1</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="691" ind1=" " ind2="7">
   <subfield code="B">u</subfield>
   <subfield code="a">IMPLANTATION D'IONS (ÉLECTRODYNAMIQUE)</subfield>
   <subfield code="z">fre</subfield>
   <subfield code="u">537.534.08*1</subfield>
   <subfield code="2">nebis E1</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="691" ind1=" " ind2="7">
   <subfield code="B">u</subfield>
   <subfield code="a">ION IMPLANTATION (ELECTRODYNAMICS)</subfield>
   <subfield code="z">eng</subfield>
   <subfield code="u">537.534.08*1</subfield>
   <subfield code="2">nebis E1</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="700" ind1="1" ind2=" ">
   <subfield code="a">Hirvonen</subfield>
   <subfield code="D">James Karsten</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="898" ind1=" " ind2=" ">
   <subfield code="a">BK020000</subfield>
   <subfield code="b">XK020000</subfield>
   <subfield code="c">XK020000</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="949" ind1=" " ind2=" ">
   <subfield code="B">NEBIS</subfield>
   <subfield code="F">E09</subfield>
   <subfield code="b">E09</subfield>
   <subfield code="c">E09BI</subfield>
   <subfield code="j">621/18</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="949" ind1=" " ind2=" ">
   <subfield code="B">NEBIS</subfield>
   <subfield code="F">E01</subfield>
   <subfield code="b">E01</subfield>
   <subfield code="c">MG</subfield>
   <subfield code="j">P 413353: 18</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="950" ind1=" " ind2=" ">
   <subfield code="B">NEBIS</subfield>
   <subfield code="P">490</subfield>
   <subfield code="E">--</subfield>
   <subfield code="a">Treatise on materials science and technology</subfield>
   <subfield code="v">vol. 18</subfield>
   <subfield code="i">18</subfield>
   <subfield code="w">(NEBIS)000013610</subfield>
   <subfield code="9">273109855</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="950" ind1=" " ind2=" ">
   <subfield code="B">NEBIS</subfield>
   <subfield code="P">700</subfield>
   <subfield code="E">1-</subfield>
   <subfield code="a">Hirvonen</subfield>
   <subfield code="D">James Karsten</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="986" ind1=" " ind2=" ">
   <subfield code="a">SWISSBIB</subfield>
   <subfield code="b">12862079X</subfield>
  </datafield>
 </record>
</collection>
