<?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?>
<collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim">
 <record>
  <leader>     cam a22     u  4500</leader>
  <controlfield tag="001">128682728</controlfield>
  <controlfield tag="003">CHVBK</controlfield>
  <controlfield tag="005">20200921070431.0</controlfield>
  <controlfield tag="007">he ||||-||||</controlfield>
  <controlfield tag="008">880212s1979    xxu    |bmm   00   |eng|d</controlfield>
  <datafield tag="027" ind1=" " ind2=" ">
   <subfield code="a">LBL-9990</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="035" ind1=" " ind2=" ">
   <subfield code="a">(OCoLC)637386794</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="035" ind1=" " ind2=" ">
   <subfield code="a">(NEBIS)000277319</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="040" ind1=" " ind2=" ">
   <subfield code="a">ETH-BIB</subfield>
   <subfield code="b">ger</subfield>
   <subfield code="c">ETH-BIB</subfield>
   <subfield code="e">ETHICS-ISBD</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="245" ind1="0" ind2="2">
   <subfield code="a">A model of the recrystallization mechanism of amorphous silicon layers created by ion implantation</subfield>
   <subfield code="h">Mikroform</subfield>
   <subfield code="c">Robert M. Drosd</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="260" ind1=" " ind2=" ">
   <subfield code="a">Berkeley, CA</subfield>
   <subfield code="b">Lawrence Berkeley Laboratory</subfield>
   <subfield code="c">1979</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="300" ind1=" " ind2=" ">
   <subfield code="a">1 Mikrofiche</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="502" ind1=" " ind2=" ">
   <subfield code="a">Diss., Univ. of California, Berkeley, 1979</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="650" ind1=" " ind2="7">
   <subfield code="a">AMORPHER ZUSTAND (CHEMIE UND PHYSIK)</subfield>
   <subfield code="x">ger</subfield>
   <subfield code="0">(ETHUDK)000015823</subfield>
   <subfield code="2">ethudk</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="650" ind1=" " ind2="7">
   <subfield code="a">EIGENSCHAFTEN DÜNNER SCHICHTEN (PHYSIK VON MOLEKULARSYSTEMEN)</subfield>
   <subfield code="x">ger</subfield>
   <subfield code="0">(ETHUDK)000015672</subfield>
   <subfield code="2">ethudk</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="650" ind1=" " ind2="7">
   <subfield code="a">IONENIMPLANTATION (ELEKTRODYNAMIK)</subfield>
   <subfield code="x">ger</subfield>
   <subfield code="0">(ETHUDK)000015158</subfield>
   <subfield code="2">ethudk</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="650" ind1=" " ind2="7">
   <subfield code="a">SILICIUM (CHEMISCHE ELEMENTE)</subfield>
   <subfield code="x">ger</subfield>
   <subfield code="0">(ETHUDK)000016794</subfield>
   <subfield code="2">ethudk</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="655" ind1=" " ind2="7">
   <subfield code="a">Hochschulschrift</subfield>
   <subfield code="2">gnd-content</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="691" ind1=" " ind2="7">
   <subfield code="B">u</subfield>
   <subfield code="a">SILICIUM (CHEMISCHE ELEMENTE)</subfield>
   <subfield code="z">ger</subfield>
   <subfield code="u">546.28</subfield>
   <subfield code="2">nebis E1</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="691" ind1=" " ind2="7">
   <subfield code="B">u</subfield>
   <subfield code="a">AMORPHER ZUSTAND (CHEMIE UND PHYSIK)</subfield>
   <subfield code="z">ger</subfield>
   <subfield code="u">54-161</subfield>
   <subfield code="2">nebis E1</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="691" ind1=" " ind2="7">
   <subfield code="B">u</subfield>
   <subfield code="a">EIGENSCHAFTEN DÜNNER SCHICHTEN (PHYSIK VON MOLEKULARSYSTEMEN)</subfield>
   <subfield code="z">ger</subfield>
   <subfield code="u">539.216.2</subfield>
   <subfield code="2">nebis E1</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="691" ind1=" " ind2="7">
   <subfield code="B">u</subfield>
   <subfield code="a">IONENIMPLANTATION (ELEKTRODYNAMIK)</subfield>
   <subfield code="z">ger</subfield>
   <subfield code="u">537.534.08*1</subfield>
   <subfield code="2">nebis E1</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="691" ind1=" " ind2="7">
   <subfield code="B">u</subfield>
   <subfield code="a">SILICIUM (ÉLÉMENTS CHIMIQUES)</subfield>
   <subfield code="z">fre</subfield>
   <subfield code="u">546.28</subfield>
   <subfield code="2">nebis E1</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="691" ind1=" " ind2="7">
   <subfield code="B">u</subfield>
   <subfield code="a">SILICON (CHEMICAL ELEMENTS)</subfield>
   <subfield code="z">eng</subfield>
   <subfield code="u">546.28</subfield>
   <subfield code="2">nebis E1</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="691" ind1=" " ind2="7">
   <subfield code="B">u</subfield>
   <subfield code="a">ÉTAT AMORPHE DE LA MATIÈRE (CHIMIE ET PHYSIQUE)</subfield>
   <subfield code="z">fre</subfield>
   <subfield code="u">54-161</subfield>
   <subfield code="2">nebis E1</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="691" ind1=" " ind2="7">
   <subfield code="B">u</subfield>
   <subfield code="a">AMORPHOUS STATE OF SUBSTANCE (CHEMISTRY AND PHYSICS)</subfield>
   <subfield code="z">eng</subfield>
   <subfield code="u">54-161</subfield>
   <subfield code="2">nebis E1</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="691" ind1=" " ind2="7">
   <subfield code="B">u</subfield>
   <subfield code="a">PROPERTIES OF THIN LAYERS (PHYSICS OF MOLECULAR SYSTEMS)</subfield>
   <subfield code="z">eng</subfield>
   <subfield code="u">539.216.2</subfield>
   <subfield code="2">nebis E1</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="691" ind1=" " ind2="7">
   <subfield code="B">u</subfield>
   <subfield code="a">PROPRIÉTÉS DES COUCHES MINCES (PHYSIQUE DES SYSTÈMES MOLÉCULAIRES)</subfield>
   <subfield code="z">fre</subfield>
   <subfield code="u">539.216.2</subfield>
   <subfield code="2">nebis E1</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="691" ind1=" " ind2="7">
   <subfield code="B">u</subfield>
   <subfield code="a">IMPLANTATION D'IONS (ÉLECTRODYNAMIQUE)</subfield>
   <subfield code="z">fre</subfield>
   <subfield code="u">537.534.08*1</subfield>
   <subfield code="2">nebis E1</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="691" ind1=" " ind2="7">
   <subfield code="B">u</subfield>
   <subfield code="a">ION IMPLANTATION (ELECTRODYNAMICS)</subfield>
   <subfield code="z">eng</subfield>
   <subfield code="u">537.534.08*1</subfield>
   <subfield code="2">nebis E1</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="700" ind1="1" ind2=" ">
   <subfield code="a">Drosd</subfield>
   <subfield code="D">Robert M.</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="898" ind1=" " ind2=" ">
   <subfield code="a">BK020000</subfield>
   <subfield code="b">XK020000</subfield>
   <subfield code="c">XK020000</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="908" ind1=" " ind2=" ">
   <subfield code="D">1</subfield>
   <subfield code="f">MF Mikrofiche = Microfiche</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="908" ind1=" " ind2=" ">
   <subfield code="D">1</subfield>
   <subfield code="a">Hochschulschrift = Thèse/Mémoire</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="949" ind1=" " ind2=" ">
   <subfield code="B">NEBIS</subfield>
   <subfield code="F">E01</subfield>
   <subfield code="b">E01</subfield>
   <subfield code="c">RP</subfield>
   <subfield code="j">MIKR: LBL9990</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="950" ind1=" " ind2=" ">
   <subfield code="B">NEBIS</subfield>
   <subfield code="P">700</subfield>
   <subfield code="E">1-</subfield>
   <subfield code="a">Drosd</subfield>
   <subfield code="D">Robert M.</subfield>
  </datafield>
 </record>
</collection>
