<?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?>
<collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim">
 <record>
  <leader>     cam a22     u  4500</leader>
  <controlfield tag="001">12870232X</controlfield>
  <controlfield tag="003">CHVBK</controlfield>
  <controlfield tag="005">20201009205036.0</controlfield>
  <controlfield tag="008">880212s1982    gw     |      00   |ger|d</controlfield>
  <datafield tag="020" ind1=" " ind2=" ">
   <subfield code="a">3-531-03133-3</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="035" ind1=" " ind2=" ">
   <subfield code="a">(OCoLC)299635266</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="035" ind1=" " ind2=" ">
   <subfield code="a">(NEBIS)000258160</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="040" ind1=" " ind2=" ">
   <subfield code="a">ETH-BIB</subfield>
   <subfield code="b">ger</subfield>
   <subfield code="c">ETH-BIB</subfield>
   <subfield code="e">ETHICS-ISBD</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="245" ind1="0" ind2="0">
   <subfield code="a">Einfluss von Getterprozessen auf die Eigenschaften von ionenimplantierten integrierten Fotodioden</subfield>
   <subfield code="c">Bernd Höfflinger, Günter Zimmer, Heinz Gerd Graf</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="260" ind1=" " ind2=" ">
   <subfield code="a">Opladen</subfield>
   <subfield code="b">Westdeutscher Verlag</subfield>
   <subfield code="c">1982</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="300" ind1=" " ind2=" ">
   <subfield code="a">42 S.</subfield>
   <subfield code="b">28 Fig.</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="490" ind1="0" ind2=" ">
   <subfield code="a">Forschungsberichte des Landes Nordrhein-Westfalen</subfield>
   <subfield code="v">Nr.3133, Fachgruppe Elektrotechnik/Optik</subfield>
   <subfield code="i">3133</subfield>
   <subfield code="w">(NEBIS)000022597</subfield>
   <subfield code="9">126386358</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="650" ind1=" " ind2="7">
   <subfield code="a">METALLOXID-HALBLEITER-INTEGRIERTE SCHALTUNGEN, MOS (MIKROELEKTRONIK)</subfield>
   <subfield code="x">ger</subfield>
   <subfield code="0">(ETHUDK)000028118</subfield>
   <subfield code="2">ethudk</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="691" ind1=" " ind2="7">
   <subfield code="B">u</subfield>
   <subfield code="a">METALLOXID-HALBLEITER-INTEGRIERTE SCHALTUNGEN, MOS (MIKROELEKTRONIK)</subfield>
   <subfield code="z">ger</subfield>
   <subfield code="u">621.3.049.774.2</subfield>
   <subfield code="2">nebis E1</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="691" ind1=" " ind2="7">
   <subfield code="B">u</subfield>
   <subfield code="a">CIRCUITS INTÉGRÉS À SEMI-CONDUCTEUR D'OXYDE MÉTAL, MOS (MICROÉLECTRONIQUE)</subfield>
   <subfield code="z">fre</subfield>
   <subfield code="u">621.3.049.774.2</subfield>
   <subfield code="2">nebis E1</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="691" ind1=" " ind2="7">
   <subfield code="B">u</subfield>
   <subfield code="a">METAL OXIDE SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUITS, MOS (MICROELECTRONICS)</subfield>
   <subfield code="z">eng</subfield>
   <subfield code="u">621.3.049.774.2</subfield>
   <subfield code="2">nebis E1</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="700" ind1="1" ind2=" ">
   <subfield code="a">Höfflinger</subfield>
   <subfield code="D">Bernd</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="700" ind1="1" ind2=" ">
   <subfield code="a">Zimmer</subfield>
   <subfield code="D">Günter</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="700" ind1="1" ind2=" ">
   <subfield code="a">Graf</subfield>
   <subfield code="D">Heinz Gerd</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="898" ind1=" " ind2=" ">
   <subfield code="a">BK020000</subfield>
   <subfield code="b">XK020000</subfield>
   <subfield code="c">XK020000</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="949" ind1=" " ind2=" ">
   <subfield code="B">NEBIS</subfield>
   <subfield code="F">E16</subfield>
   <subfield code="b">E16</subfield>
   <subfield code="c">RH</subfield>
   <subfield code="j">P C 227: 3133</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="950" ind1=" " ind2=" ">
   <subfield code="B">NEBIS</subfield>
   <subfield code="P">490</subfield>
   <subfield code="E">--</subfield>
   <subfield code="a">Forschungsberichte des Landes Nordrhein-Westfalen</subfield>
   <subfield code="v">Nr.3133, Fachgruppe Elektrotechnik/Optik</subfield>
   <subfield code="i">3133</subfield>
   <subfield code="w">(NEBIS)000022597</subfield>
   <subfield code="9">126386358</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="950" ind1=" " ind2=" ">
   <subfield code="B">NEBIS</subfield>
   <subfield code="P">700</subfield>
   <subfield code="E">1-</subfield>
   <subfield code="a">Höfflinger</subfield>
   <subfield code="D">Bernd</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="950" ind1=" " ind2=" ">
   <subfield code="B">NEBIS</subfield>
   <subfield code="P">700</subfield>
   <subfield code="E">1-</subfield>
   <subfield code="a">Zimmer</subfield>
   <subfield code="D">Günter</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="950" ind1=" " ind2=" ">
   <subfield code="B">NEBIS</subfield>
   <subfield code="P">700</subfield>
   <subfield code="E">1-</subfield>
   <subfield code="a">Graf</subfield>
   <subfield code="D">Heinz Gerd</subfield>
  </datafield>
 </record>
</collection>
