<?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?>
<collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim">
 <record>
  <leader>     cam a22     u  4500</leader>
  <controlfield tag="001">12872448X</controlfield>
  <controlfield tag="003">CHVBK</controlfield>
  <controlfield tag="005">20200921121804.0</controlfield>
  <controlfield tag="008">880212s1981    xxu    |      10   |eng|d</controlfield>
  <datafield tag="020" ind1=" " ind2=" ">
   <subfield code="a">0-88318-172-X</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="027" ind1=" " ind2=" ">
   <subfield code="a">DOE-CONF-810331</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="035" ind1=" " ind2=" ">
   <subfield code="a">(OCoLC)636355292</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="035" ind1=" " ind2=" ">
   <subfield code="a">(NEBIS)000244889</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="040" ind1=" " ind2=" ">
   <subfield code="a">ETH-BIB</subfield>
   <subfield code="b">ger</subfield>
   <subfield code="c">ETH-BIB</subfield>
   <subfield code="e">ETHICS-ISBD</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="245" ind1="0" ind2="0">
   <subfield code="a">Tetrahedrally bonded amorphous semiconductors</subfield>
   <subfield code="b">(topical conference); Carefree - Ariz., (12th-14th March), 1981</subfield>
   <subfield code="c">ed.: R.A.Street, D.K.Biegelsen, J.C.Knights</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="260" ind1=" " ind2=" ">
   <subfield code="a">New York</subfield>
   <subfield code="b">American Institute of physics</subfield>
   <subfield code="c">1981</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="300" ind1=" " ind2=" ">
   <subfield code="a">338 p.</subfield>
   <subfield code="b">fig.; tab.</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="490" ind1="0" ind2=" ">
   <subfield code="a">AIP conference proceedings</subfield>
   <subfield code="v">no.73</subfield>
   <subfield code="i">73</subfield>
   <subfield code="w">(NEBIS)000025027</subfield>
   <subfield code="9">175059675</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="650" ind1=" " ind2="7">
   <subfield code="a">AMORPHER ZUSTAND (CHEMIE UND PHYSIK)</subfield>
   <subfield code="x">ger</subfield>
   <subfield code="0">(ETHUDK)000015823</subfield>
   <subfield code="2">ethudk</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="650" ind1=" " ind2="7">
   <subfield code="a">HALBLEITER + HALBLEITERTECHNOLOGIE (ELEKTROTECHNIK)</subfield>
   <subfield code="x">ger</subfield>
   <subfield code="0">(ETHUDK)000028267</subfield>
   <subfield code="2">ethudk</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="650" ind1=" " ind2="7">
   <subfield code="a">HYDROGENIERTES AMORPHES SILICIUM (ANORGANISCHE CHEMIE)</subfield>
   <subfield code="x">ger</subfield>
   <subfield code="0">(ETHUDK)000046067</subfield>
   <subfield code="2">ethudk</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="655" ind1=" " ind2="7">
   <subfield code="a">Konferenzschrift</subfield>
   <subfield code="z">Carefree (AZ)</subfield>
   <subfield code="y">1981/03</subfield>
   <subfield code="2">gnd-content</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="691" ind1=" " ind2="7">
   <subfield code="B">u</subfield>
   <subfield code="a">AMORPHER ZUSTAND (CHEMIE UND PHYSIK)</subfield>
   <subfield code="z">ger</subfield>
   <subfield code="u">54-161</subfield>
   <subfield code="2">nebis E1</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="691" ind1=" " ind2="7">
   <subfield code="B">u</subfield>
   <subfield code="a">HALBLEITER + HALBLEITERTECHNOLOGIE (ELEKTROTECHNIK)</subfield>
   <subfield code="z">ger</subfield>
   <subfield code="u">621.315.592</subfield>
   <subfield code="2">nebis E1</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="691" ind1=" " ind2="7">
   <subfield code="B">u</subfield>
   <subfield code="a">HYDROGENIERTES AMORPHES SILICIUM (ANORGANISCHE CHEMIE)</subfield>
   <subfield code="z">ger</subfield>
   <subfield code="u">546.281-161*1</subfield>
   <subfield code="2">nebis E1</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="691" ind1=" " ind2="7">
   <subfield code="B">u</subfield>
   <subfield code="a">ÉTAT AMORPHE DE LA MATIÈRE (CHIMIE ET PHYSIQUE)</subfield>
   <subfield code="z">fre</subfield>
   <subfield code="u">54-161</subfield>
   <subfield code="2">nebis E1</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="691" ind1=" " ind2="7">
   <subfield code="B">u</subfield>
   <subfield code="a">AMORPHOUS STATE OF SUBSTANCE (CHEMISTRY AND PHYSICS)</subfield>
   <subfield code="z">eng</subfield>
   <subfield code="u">54-161</subfield>
   <subfield code="2">nebis E1</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="691" ind1=" " ind2="7">
   <subfield code="B">u</subfield>
   <subfield code="a">SEMI-CONDUCTEURS + TECHNOLOGIE DES SEMI-CONDUCTEURS (ÉLECTROTECHNIQUE)</subfield>
   <subfield code="z">fre</subfield>
   <subfield code="u">621.315.592</subfield>
   <subfield code="2">nebis E1</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="691" ind1=" " ind2="7">
   <subfield code="B">u</subfield>
   <subfield code="a">SEMICONDUCTORS + SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY (ELECTRICAL ENGINEERING)</subfield>
   <subfield code="z">eng</subfield>
   <subfield code="u">621.315.592</subfield>
   <subfield code="2">nebis E1</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="691" ind1=" " ind2="7">
   <subfield code="B">u</subfield>
   <subfield code="a">HYDROGENATED AMORPHOUS SILICON (INORGANIC CHEMISTRY)</subfield>
   <subfield code="z">eng</subfield>
   <subfield code="u">546.281-161*1</subfield>
   <subfield code="2">nebis E1</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="691" ind1=" " ind2="7">
   <subfield code="B">u</subfield>
   <subfield code="a">SILICIUM AMORPHE HYDROGÈNÉ (CHIMIE INORGANIQUE)</subfield>
   <subfield code="z">fre</subfield>
   <subfield code="u">546.281-161*1</subfield>
   <subfield code="2">nebis E1</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="700" ind1="1" ind2=" ">
   <subfield code="a">Street</subfield>
   <subfield code="D">Robert A.</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="711" ind1="2" ind2=" ">
   <subfield code="a">Topical Conference on Tetrahedrally Bonded Amorphous Semiconductors</subfield>
   <subfield code="d">(1981</subfield>
   <subfield code="c">Carefree, Ariz.)</subfield>
   <subfield code="0">(DE-588)819107-4</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="898" ind1=" " ind2=" ">
   <subfield code="a">BK020800</subfield>
   <subfield code="b">XK020000</subfield>
   <subfield code="c">XK020000</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="913" ind1=" " ind2=" ">
   <subfield code="c">Carefree (AZ)</subfield>
   <subfield code="a">Kongress = Congrès</subfield>
   <subfield code="b">1981/03</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="949" ind1=" " ind2=" ">
   <subfield code="B">NEBIS</subfield>
   <subfield code="F">E09</subfield>
   <subfield code="b">E09</subfield>
   <subfield code="c">E09BI</subfield>
   <subfield code="j">538/22</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="949" ind1=" " ind2=" ">
   <subfield code="B">NEBIS</subfield>
   <subfield code="F">E01</subfield>
   <subfield code="b">E01</subfield>
   <subfield code="c">MG</subfield>
   <subfield code="j">P 713439: 73</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="950" ind1=" " ind2=" ">
   <subfield code="B">NEBIS</subfield>
   <subfield code="P">490</subfield>
   <subfield code="E">--</subfield>
   <subfield code="a">AIP conference proceedings</subfield>
   <subfield code="v">no.73</subfield>
   <subfield code="i">73</subfield>
   <subfield code="w">(NEBIS)000025027</subfield>
   <subfield code="9">175059675</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="950" ind1=" " ind2=" ">
   <subfield code="B">NEBIS</subfield>
   <subfield code="P">700</subfield>
   <subfield code="E">1-</subfield>
   <subfield code="a">Street</subfield>
   <subfield code="D">Robert A.</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="950" ind1=" " ind2=" ">
   <subfield code="B">NEBIS</subfield>
   <subfield code="P">711</subfield>
   <subfield code="E">2-</subfield>
   <subfield code="a">Topical Conference on Tetrahedrally Bonded Amorphous Semiconductors</subfield>
   <subfield code="d">(1981</subfield>
   <subfield code="c">Carefree, Ariz)</subfield>
   <subfield code="0">(DE-588)819107-4</subfield>
  </datafield>
  <datafield tag="986" ind1=" " ind2=" ">
   <subfield code="a">SWISSBIB</subfield>
   <subfield code="b">12872448X</subfield>
  </datafield>
 </record>
</collection>
