Plasmaunterstützte Gasphasenabscheidung - Aufbau einer PECVD-Anlage und Abscheidung von oxidischen Schichten

Verfasser / Beitragende:
Stefan Liebing
Ort, Verlag, Jahr:
Tübingen : 1997
Beschreibung:
60 S. : Ill.
Format:
Buch (Hochschulschrift)
ID: 143886142