Plasmaunterstützte Gasphasenabscheidung - Aufbau einer PECVD-Anlage und Abscheidung von oxidischen Schichten
Gespeichert in:
Verfasser / Beitragende:
Stefan Liebing
Ort, Verlag, Jahr:
Tübingen :
1997
Beschreibung:
60 S. : Ill.
Format:
Buch (Hochschulschrift)