Vertikale und laterale Diffusion von Dotierstoffen in sub-{mü}m-Gate-Schichten von CMOS-Transistoren

Verfasser / Beitragende:
von Adrian Berthold
Ort, Verlag, Jahr:
Regensburg : 1998
Beschreibung:
XII, 161 S. : Ill.
Format:
Buch (Hochschulschrift)
ID: 14392270X