Vertikale und laterale Diffusion von Dotierstoffen in sub-{mü}m-Gate-Schichten von CMOS-Transistoren
Gespeichert in:
Verfasser / Beitragende:
von Adrian Berthold
Ort, Verlag, Jahr:
Regensburg :
1998
Beschreibung:
XII, 161 S. : Ill.
Format:
Buch (Hochschulschrift)