Einfluss elektrischer Parameter auf Vakuumbogenentladungen in PVD-Prozessen

Verfasser / Beitragende:
von Mario Ellrodt
Ort, Verlag, Jahr:
Magdeburg : 1997
Beschreibung:
XI, 169 S. : Ill. ; 21 cm
Format:
Buch (Hochschulschrift)
ID: 143941976