Konzeption, Aufbau und Inbetriebnahme eines Reflektometers zur ortsauflösenden Charakterisierung von EUV-Optikkomponenten mit lateral variablen Eigenschaften

Verfasser / Beitragende:
Stephen Rahn
Ort, Verlag, Jahr:
Bielefeld : 1998
Beschreibung:
153 S. : Ill.
Format:
Buch (Hochschulschrift)
ID: 143949047