Metallurgy of contact to SiC and GaN

Properties and oxidation of reactively sputtered Ru-Si-O thin films

Verfasser / Beitragende:
von Stefan Michael Gasser
Ort, Verlag, Jahr:
Bern : 1999
Beschreibung:
1 Band (mehrere Zählungen) : Ill., Tab.
Format:
Buch (Hochschulschrift)
ID: 143949616