Plasmagestützte chemische Gasphasenabscheidung von Kohlenstoffnitridschichten

Verfasser / Beitragende:
von Heinrich Grüger
Ort, Verlag, Jahr:
Dresden : 1999
Beschreibung:
106 S. : Ill. ; 30 cm
Format:
Buch (Hochschulschrift)
ID: 143991019