High purity silicon VIII
proceedings of the international symposium
Gespeichert in:
Verfasser / Beitragende:
eds.: C.L. Claeys ... [et al.] ; spons. division: Electronics
Ort, Verlag, Jahr:
Pennington, N.J. :
Electrochemical Society,
2004
Beschreibung:
438 S. : Ill.
Format:
Buch (Kongress)