Neue Schichtkonzepte zur Abscheidung von kubischem Bornitrid

Verfasser / Beitragende:
Konrad Sell
Ort, Verlag, Jahr:
Karlsruhe : Forschungszentrum Karlsruhe in der Helmholtz-Gemeinschaft, 2005
Beschreibung:
147 S. : Ill.
Format:
Buch (Hochschulschrift)
ID: 16148932X