Silicon Optical Bench

Prozessentwicklung zur Herstellung von anisotrop geätzten Alignierstrukturen aus Silizium für optische Fasern und Laserdioden

Verfasser / Beitragende:
Reto Ventruto
Ort, Verlag, Jahr:
Buchs : Interstaatliche Hochschule für Technik NTB, 2011
Beschreibung:
31 Bl. : Ill.
Format:
Buch (Hochschulschrift)
ID: 179505661