Silicon Optical Bench
Prozessentwicklung zur Herstellung von anisotrop geätzten Alignierstrukturen aus Silizium für optische Fasern und Laserdioden
Gespeichert in:
Verfasser / Beitragende:
Reto Ventruto
Ort, Verlag, Jahr:
Buchs :
Interstaatliche Hochschule für Technik NTB,
2011
Beschreibung:
31 Bl. : Ill.
Format:
Buch (Hochschulschrift)