Neue Strategien der Mess- und Prüftechnik für die Produktion von Mikrosystemen und Nanostrukturen

Abschlussbericht DFG Schwerpunktprogramm 1159 StraMNano

Verfasser / Beitragende:
Albert Weckenmann (Hrsg.)
Ort, Verlag, Jahr:
Aachen : Shaker, 2011
Beschreibung:
261 S. : Ill.
Format:
Buch
ID: 180286870