Neue Strategien der Mess- und Prüftechnik für die Produktion von Mikrosystemen und Nanostrukturen
Abschlussbericht DFG Schwerpunktprogramm 1159 StraMNano
Gespeichert in:
Verfasser / Beitragende:
Albert Weckenmann (Hrsg.)
Ort, Verlag, Jahr:
Aachen :
Shaker,
2011
Beschreibung:
261 S. : Ill.
Format:
Buch