Handbook of thin film process technology

Verfasser / Beitragende:
ed. David A. Glocker, S. Ismat Shah ; ed. administrator Cynthia A. Morgan
Ort, Verlag, Jahr:
Bristol [etc.] : Institute of Physics, 2002
Beschreibung:
2 vol. (pagination multiple) : ill. ; 31 cm
Format:
Buch
ID: 228807085