Nanolithography
the art of fabricating nanoelectronic and nanophotonic devices and systems
Gespeichert in:
Verfasser / Beitragende:
edited by Martin Feldman
Ort, Verlag, Jahr:
Oxford :
Woodhead Publishing,
2014
Beschreibung:
573 S. : Ill.
Format:
Buch
Online Zugang: