Non-gaussian ion implantation profiles

Verfasser / Beitragende:
G. Dearnaley, M.A. Wilkins, P.D. Goode
Ort, Verlag, Jahr:
Harwell, Berkshire : AERE, 1971
Beschreibung:
7 S. : Ill.
Format:
Buch
ID: 328691119