PSpice-Modellierung eines CMOS-kompatiblen mechanischen Spannungssensors, basierend auf der Anisotropie des piezoresistiven Effekts (PSpice-Model for a CMOS-Compatible Stress Sensor Based on the Anisotropy of the Piezoresistive Effect)

Verfasser / Beitragende:
[A. Sutor, R. Lerch]
Ort, Verlag, Jahr:
2001
Enthalten in:
tm – Technisches Messen, 68/5/2001(2001-05), 234
Format:
Artikel (online)
ID: 378685368