Komponenten zur strukturierten Beleuchtung und Belastungssteuerung von Mikrobauteilen (Components for Structured Illumination and Loading Control of MEMS)

Verfasser / Beitragende:
[N. Köpp, B. Liedtke, W. Meier]
Ort, Verlag, Jahr:
2001
Enthalten in:
tm – Technisches Messen, 68/2/2001(2001-02), 101
Format:
Artikel (online)
ID: 378689673