Messtechnische Grundlagen zur Inspektion von Mikrokomponenten mittels Digitaler Holografie (The Metrological Basis for the Inspection of Microcomponents by Digital Holography)

Verfasser / Beitragende:
[Wolfgang Osten, S. Seebacher, Th. Baumbach, Werner Jüptner]
Ort, Verlag, Jahr:
2001
Enthalten in:
tm – Technisches Messen, 68/2/2001(2001-02), 68
Format:
Artikel (online)
ID: 37868969X