Komponenten und Systeme für die 3D-Messung von Mikrostrukturen (Components and Systems for the 3D-Measurement of Microstructures)

Verfasser / Beitragende:
[R. Faßler, P. Gussek]
Ort, Verlag, Jahr:
2001
Enthalten in:
tm – Technisches Messen, 68/2/2001(2001-02), 94
Format:
Artikel (online)
ID: 378689738