Plasmaprozess-Technologie für mikromechanische Messobjekte (Plasma Process Technology for Micromechanic Measuring Structures)

Verfasser / Beitragende:
[A. Dehoff, M. Reetz, K. Wandel, R. Wolf]
Ort, Verlag, Jahr:
2001
Enthalten in:
tm – Technisches Messen, 68/2/2001(2001-02), 57
Format:
Artikel (online)
ID: 378689762