Methoden und Sensoren zur Überwachung von Handhabungs- und Fügeprozessen in der Mikrosystemtechnik (Methods and Sensors for the Control of Handling and Assembly Processes in Microtechnology)

Verfasser / Beitragende:
[Sascha Driessen, Bastian Engelmann]
Ort, Verlag, Jahr:
2004
Enthalten in:
tm - Technisches Messen/Sensoren, Geräte, Systeme, 71/7/8/2004(2004-08-01), 404-416
Format:
Artikel (online)
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246 1 |a Methods and Sensors for the Control of Handling and Assembly Processes in Microtechnology 
520 3 |a Der vorliegende Artikel stellt aus dem Gebiet der prozessintermittierenden Qualitätskontrolle Aspekte aus dem Bereich der Form- und Lageerkennung von Mikrobauteilen mittels faseroptischer Streifenprojektion und eine Anwendung von bildverarbeitungsgestützter Prozessüberwachung vor. Zur Thematik der klassischen Postprozessmesstechnik wird im Kontext der konfokalen Laserscanningmikroskopie eine Möglichkeit zur Erhöhung der Flexibilität des Messverfahrens auf Basis angepasster Signalauswertung dargestellt. 
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