caa a22 4500 378882902 CHVBK 20180305123436.0 cr unu---uuuuu 161128e20040801xx s 000 0 ger 10.1524/teme.71.7.404.36696 doi (NATIONALLICENCE)gruyter-10.1524/teme.71.7.404.36696 Methoden und Sensoren zur Überwachung von Handhabungs- und Fügeprozessen in der Mikrosystemtechnik (Methods and Sensors for the Control of Handling and Assembly Processes in Microtechnology) [Elektronische Daten] [Sascha Driessen, Bastian Engelmann] Methods and Sensors for the Control of Handling and Assembly Processes in Microtechnology Der vorliegende Artikel stellt aus dem Gebiet der prozessintermittierenden Qualitätskontrolle Aspekte aus dem Bereich der Form- und Lageerkennung von Mikrobauteilen mittels faseroptischer Streifenprojektion und eine Anwendung von bildverarbeitungsgestützter Prozessüberwachung vor. Zur Thematik der klassischen Postprozessmesstechnik wird im Kontext der konfokalen Laserscanningmikroskopie eine Möglichkeit zur Erhöhung der Flexibilität des Messverfahrens auf Basis angepasster Signalauswertung dargestellt. © 2004 Oldenbourg Wissenschaftsverlag GmbH Engineering: general nationallicence Instruments & instrumentation engineering nationallicence Materials science nationallicence Driessen Sascha aut Engelmann Bastian aut tm - Technisches Messen/Sensoren, Geräte, Systeme Oldenbourg Wissenschaftsverlag GmbH 71/7/8/2004(2004-08-01), 404-416 0171-8096 71:7/8/2004<404 2004 71 teme https://doi.org/10.1524/teme.71.7.404.36696 text/html Onlinezugriff via DOI 1 research article jats NATIONALLICENCE 856 40 https://doi.org/10.1524/teme.71.7.404.36696 text/html Onlinezugriff via DOI NATIONALLICENCE 700 1- Driessen Sascha aut NATIONALLICENCE 700 1- Engelmann Bastian aut NATIONALLICENCE 773 0- tm - Technisches Messen/Sensoren, Geräte, Systeme Oldenbourg Wissenschaftsverlag GmbH 71/7/8/2004(2004-08-01), 404-416 0171-8096 71:7/8/2004<404 2004 71 teme CC0 http://creativecommons.org/publicdomain/zero/1.0 nationallicence BK010053 XK010053 XK010000 NATIONALLICENCE NATIONALLICENCE NL-gruyter