Metalloxidgassensor-Array für die Qualifizierung der Luftgüte (Metal Oxide Gas Sensor Array for Air Quality Monitoring)
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| 245 | 0 | 0 | |a Metalloxidgassensor-Array für die Qualifizierung der Luftgüte (Metal Oxide Gas Sensor Array for Air Quality Monitoring) |h [Elektronische Daten] |c [Jürgen Wöllenstein, Harald Böttner] |
| 246 | 1 | |a Metal Oxide Gas Sensor Array for Air Quality Monitoring | |
| 520 | 3 | |a Es wird ein neuartiges "Single-chip”-Metalloxidgassensorarray zur Qualifizierung der Luftgüte vorgestellt. Das Sensorarray besteht aus vier unterschiedlich gassensitiven Sensorelementen (Cr1,8Ti0,2O3+z, ZnO, SnO2, WO3, V2O5), welche monolithisch auf einem Sensorchip integriert sind. Es wurde sowohl eine Variante auf Bulk-Silizium als auch eine mikromechanische Variante mit deutlich reduziertem Heizleistungsverbrauch entwickelt. Die mikromechanische Ausführung reduziert den Heizleistungsverbrauch von 1,6 W auf 0,26 W bei einer Arbeitstemperatur von 350°C. Labor- und Langzeitmessungen in anwendungsrelevanten Szenarien zeigen die Eignung als Luftgütesensor. | |
| 540 | |a © 2004 Oldenbourg Wissenschaftsverlag GmbH | ||
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| 690 | 7 | |a Instruments & instrumentation engineering |2 nationallicence | |
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