caa a22 4500 378922270 CHVBK 20180305123608.0 cr unu---uuuuu 161128e20040201xx s 000 0 ger 10.1524/teme.71.2.93.27065 doi (NATIONALLICENCE)gruyter-10.1524/teme.71.2.93.27065 Messunsicherheitsbestimmung in der Nanotechnologie am Beispiel eines Nanoclusters (Determining Measurement Uncertainty in Nanometrology with the example of Nanoclusters) [Elektronische Daten] [Albert Weckenmann, Thomas Wiedenhöfer, Klaus-Dieter Sommer] Determining Measurement Uncertainty in Nanometrology with the example of Nanoclusters Die Zuordnung der Messunsicherheit zu einem Messergebnis im Bereich der Nanomesstechnik ist eine neue Herausforderung für die angewandten Wissenschaften. Es mangelt bisher an Modellen und Vorgehensweisen zur Analyse und Interpretation der Messaufgaben und Einflüsse. Auch die zu Grunde liegenden technologischen Mechanismen sind häufig nur unzureichend bekannt. Anhand von Nanoclustern wird versucht, eine Messunsicherheitsbetrachtung in diesem Bereich zu erläutern. Typische Einflüsse werden gemäß ISO-"Guideline to the Expression of Uncertainty in Measurement" (GUM) modelliert, Unsicherheitsbeiträge quantifiziert und zugehörige Unsicherheitsbereiche festgelegt, bevor das vollständige Messergebnis, bestehend aus Erwartungswert und beigeordneter Messunsicherheit berechnet, sowie das resultierende Messunsicherheitsbudget analysiert wird. © 2004 Oldenbourg Wissenschaftsverlag GmbH Engineering: general nationallicence Instruments & instrumentation engineering nationallicence Materials science nationallicence Weckenmann Albert aut Wiedenhöfer Thomas aut Sommer Klaus-Dieter aut tm - Technisches Messen/Sensoren, Geräte, Systeme Oldenbourg Wissenschaftsverlag GmbH 71/2/2004(2004-02-01), 93-100 0171-8096 71:2/2004<93 2004 71 teme https://doi.org/10.1524/teme.71.2.93.27065 text/html Onlinezugriff via DOI 1 research article jats NATIONALLICENCE 856 40 https://doi.org/10.1524/teme.71.2.93.27065 text/html Onlinezugriff via DOI NATIONALLICENCE 700 1- Weckenmann Albert aut NATIONALLICENCE 700 1- Wiedenhöfer Thomas aut NATIONALLICENCE 700 1- Sommer Klaus-Dieter aut NATIONALLICENCE 773 0- tm - Technisches Messen/Sensoren, Geräte, Systeme Oldenbourg Wissenschaftsverlag GmbH 71/2/2004(2004-02-01), 93-100 0171-8096 71:2/2004<93 2004 71 teme CC0 http://creativecommons.org/publicdomain/zero/1.0 nationallicence BK010053 XK010053 XK010000 NATIONALLICENCE NATIONALLICENCE NL-gruyter