caa a22 4500 378933906 CHVBK 20180305123636.0 cr unu---uuuuu 161128e20040401xx s 000 0 ger 10.1524/teme.71.4.233.30456 doi (NATIONALLICENCE)gruyter-10.1524/teme.71.4.233.30456 Sessler Gerhard M. Neuartige Polymer- und Siliziumsensoren in der Akustik (Novel Polymer and Silicon Sensors in Acoustics) [Elektronische Daten] [Gerhard M. Sessler] Novel Polymer and Silicon Sensors in Acoustics In der vorliegenden Arbeit werden Beispiele für Neuentwicklungen auf dem Gebiet der akustischen Sensorik diskutiert. Dazu gehören zum einen neuartige Mikrofone und andere Sensoren auf der Basis von zellularen, geschäumten Piezopolymeren, einer Materialgruppe, die erst seit wenigen Jahren bekannt ist und die sich durch sehr hohe piezoelektrische d33-Koeffizienten auszeichnet. Beispielsweise erreichen derartige Mikrofone bereits Empfindlichkeiten von bis zu 3 mV/Pa und äquivalente Rauschpegel von etwa 35 dB(A). Ein anderes aktuelles Forschungsgebiet, welches besprochen wird, sind akustische Siliziumsensoren, die auf der Basis mehrerer Wandlerprinzipien realisiert werden können. Insbesondere werden kapazitive sowie mikrooptische Mikrofone beschrieben. Die kapazitiven Sensoren, welche jetzt auch erstmals in der Form von Silizium-Kondensatormikrofonen kommerziell erhältlich sind, haben sehr gute elektroakustische Eigenschaften mit Empfindlichkeiten ebenfalls im Bereich von einigen mV/Pa und äquivalenten Rauschpegeln unter 30 dB(A), während die mikrooptischen Wandler zwar höhere Rauschpegel aufweisen, aber für Spezialanwendungen besonders geeignet sind. © 2004 Oldenbourg Wissenschaftsverlag GmbH Engineering: general nationallicence Instruments & instrumentation engineering nationallicence Materials science nationallicence tm - Technisches Messen/Sensoren, Geräte, Systeme Oldenbourg Wissenschaftsverlag GmbH 71/4/2004(2004-04-01), 233-239 0171-8096 71:4/2004<233 2004 71 teme https://doi.org/10.1524/teme.71.4.233.30456 text/html Onlinezugriff via DOI 1 research article jats NATIONALLICENCE 856 40 https://doi.org/10.1524/teme.71.4.233.30456 text/html Onlinezugriff via DOI NATIONALLICENCE 100 1- Sessler Gerhard M. NATIONALLICENCE 773 0- tm - Technisches Messen/Sensoren, Geräte, Systeme Oldenbourg Wissenschaftsverlag GmbH 71/4/2004(2004-04-01), 233-239 0171-8096 71:4/2004<233 2004 71 teme CC0 http://creativecommons.org/publicdomain/zero/1.0 nationallicence BK010053 XK010053 XK010000 NATIONALLICENCE NATIONALLICENCE NL-gruyter