Einfluss der Gehäusung auf den Entwurf und die Realisierung umweltrobuster, miniaturisierter Drucksensoren (Influence of Housing to Design and Manufacturing of Miniaturised Pressure Sensors for Harsh Environments)
| LEADER | caa a22 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 378933949 | ||
| 003 | CHVBK | ||
| 005 | 20180305123636.0 | ||
| 007 | cr unu---uuuuu | ||
| 008 | 161128e20040401xx s 000 0 ger | ||
| 024 | 7 | 0 | |a 10.1524/teme.71.4.240.30454 |2 doi |
| 035 | |a (NATIONALLICENCE)gruyter-10.1524/teme.71.4.240.30454 | ||
| 245 | 0 | 0 | |a Einfluss der Gehäusung auf den Entwurf und die Realisierung umweltrobuster, miniaturisierter Drucksensoren (Influence of Housing to Design and Manufacturing of Miniaturised Pressure Sensors for Harsh Environments) |h [Elektronische Daten] |c [Stefan Sindlinger, Christian Wohlgemuth, Roland Werthschützky] |
| 246 | 1 | |a Influence of Housing to Design and Manufacturing of Miniaturised Pressure Sensors for Harsh Environments | |
| 520 | 3 | |a Zur Sicherung eines langfristigen Schutzes von piezoresistiven Silizium-Drucksensorelementen vor aggressiven Messmedien gibt es gegenwärtig keine Alternative zu Edelstahlgehäusen mit metallischen Trennmembranen und Koppelmedium. Der Einfluss der einzelnen Sensorbauteile auf das Übertragungsverhalten wird beim kompletten Entwurf des Differenzdrucksensors und der Auswahl der Fertigungstechnologien berücksichtigt. Auf Basis der so optimierten Entwurfsparameter wird die Konstruktion eines Differenzdrucksensors abgeleitet. | |
| 540 | |a © 2004 Oldenbourg Wissenschaftsverlag GmbH | ||
| 690 | 7 | |a Engineering: general |2 nationallicence | |
| 690 | 7 | |a Instruments & instrumentation engineering |2 nationallicence | |
| 690 | 7 | |a Materials science |2 nationallicence | |
| 700 | 1 | |a Sindlinger |D Stefan |4 aut | |
| 700 | 1 | |a Wohlgemuth |D Christian |4 aut | |
| 700 | 1 | |a Werthschützky |D Roland |4 aut | |
| 773 | 0 | |t tm - Technisches Messen/Sensoren, Geräte, Systeme |d Oldenbourg Wissenschaftsverlag GmbH |g 71/4/2004(2004-04-01), 240-248 |x 0171-8096 |q 71:4/2004<240 |1 2004 |2 71 |o teme | |
| 856 | 4 | 0 | |u https://doi.org/10.1524/teme.71.4.240.30454 |q text/html |z Onlinezugriff via DOI |
| 908 | |D 1 |a research article |2 jats | ||
| 950 | |B NATIONALLICENCE |P 856 |E 40 |u https://doi.org/10.1524/teme.71.4.240.30454 |q text/html |z Onlinezugriff via DOI | ||
| 950 | |B NATIONALLICENCE |P 700 |E 1- |a Sindlinger |D Stefan |4 aut | ||
| 950 | |B NATIONALLICENCE |P 700 |E 1- |a Wohlgemuth |D Christian |4 aut | ||
| 950 | |B NATIONALLICENCE |P 700 |E 1- |a Werthschützky |D Roland |4 aut | ||
| 950 | |B NATIONALLICENCE |P 773 |E 0- |t tm - Technisches Messen/Sensoren, Geräte, Systeme |d Oldenbourg Wissenschaftsverlag GmbH |g 71/4/2004(2004-04-01), 240-248 |x 0171-8096 |q 71:4/2004<240 |1 2004 |2 71 |o teme | ||
| 900 | 7 | |b CC0 |u http://creativecommons.org/publicdomain/zero/1.0 |2 nationallicence | |
| 898 | |a BK010053 |b XK010053 |c XK010000 | ||
| 949 | |B NATIONALLICENCE |F NATIONALLICENCE |b NL-gruyter | ||