caa a22 4500 378933949 CHVBK 20180305123636.0 cr unu---uuuuu 161128e20040401xx s 000 0 ger 10.1524/teme.71.4.240.30454 doi (NATIONALLICENCE)gruyter-10.1524/teme.71.4.240.30454 Einfluss der Gehäusung auf den Entwurf und die Realisierung umweltrobuster, miniaturisierter Drucksensoren (Influence of Housing to Design and Manufacturing of Miniaturised Pressure Sensors for Harsh Environments) [Elektronische Daten] [Stefan Sindlinger, Christian Wohlgemuth, Roland Werthschützky] Influence of Housing to Design and Manufacturing of Miniaturised Pressure Sensors for Harsh Environments Zur Sicherung eines langfristigen Schutzes von piezoresistiven Silizium-Drucksensorelementen vor aggressiven Messmedien gibt es gegenwärtig keine Alternative zu Edelstahlgehäusen mit metallischen Trennmembranen und Koppelmedium. Der Einfluss der einzelnen Sensorbauteile auf das Übertragungsverhalten wird beim kompletten Entwurf des Differenzdrucksensors und der Auswahl der Fertigungstechnologien berücksichtigt. Auf Basis der so optimierten Entwurfsparameter wird die Konstruktion eines Differenzdrucksensors abgeleitet. © 2004 Oldenbourg Wissenschaftsverlag GmbH Engineering: general nationallicence Instruments & instrumentation engineering nationallicence Materials science nationallicence Sindlinger Stefan aut Wohlgemuth Christian aut Werthschützky Roland aut tm - Technisches Messen/Sensoren, Geräte, Systeme Oldenbourg Wissenschaftsverlag GmbH 71/4/2004(2004-04-01), 240-248 0171-8096 71:4/2004<240 2004 71 teme https://doi.org/10.1524/teme.71.4.240.30454 text/html Onlinezugriff via DOI 1 research article jats NATIONALLICENCE 856 40 https://doi.org/10.1524/teme.71.4.240.30454 text/html Onlinezugriff via DOI NATIONALLICENCE 700 1- Sindlinger Stefan aut NATIONALLICENCE 700 1- Wohlgemuth Christian aut NATIONALLICENCE 700 1- Werthschützky Roland aut NATIONALLICENCE 773 0- tm - Technisches Messen/Sensoren, Geräte, Systeme Oldenbourg Wissenschaftsverlag GmbH 71/4/2004(2004-04-01), 240-248 0171-8096 71:4/2004<240 2004 71 teme CC0 http://creativecommons.org/publicdomain/zero/1.0 nationallicence BK010053 XK010053 XK010000 NATIONALLICENCE NATIONALLICENCE NL-gruyter