High growth rate of AlN in a planetary MOVPE reactor

Verfasser / Beitragende:
[W. Lundin, A. Nikolaev, A. Sakharov, P. Brunkov, E. Zavarin, A. Tsatsulnikov]
Ort, Verlag, Jahr:
2010
Enthalten in:
Technical Physics Letters, 36/12(2010-12-01), 1133-1135
Format:
Artikel (online)
ID: 445128836