Features of electrostimulated degradation of aluminum metallization on silicon surface in the presence of dielectric steps
Gespeichert in:
Verfasser / Beitragende:
[A. Skvortsov, V. Rybin, S. Zuev]
Ort, Verlag, Jahr:
2010
Enthalten in:
Technical Physics Letters, 36/3(2010-03-01), 282-284
Format:
Artikel (online)
Online Zugang: