New approach to metrology in nanotechnology
Gespeichert in:
Verfasser / Beitragende:
[S. Maksimov, K. Maksimov]
Ort, Verlag, Jahr:
2010
Enthalten in:
Technical Physics Letters, 36/10(2010-10-01), 938-941
Format:
Artikel (online)
Online Zugang: