Modification of germanium nanoclusters in GeO x films during isochronous furnace and pulse laser annealing
Gespeichert in:
Verfasser / Beitragende:
[D. Marin, V. Volodin, E. Gorokhov, D. Shcheglov, A. Latyshev, M. Vergnat, J. Koch, B. Chichkov]
Ort, Verlag, Jahr:
2010
Enthalten in:
Technical Physics Letters, 36/5(2010-05-01), 439-442
Format:
Artikel (online)
Online Zugang: