Diffusion localisée de phosphore dans le silicium

Verfasser / Beitragende:
[D. Clerc, H. Kunz]
Ort, Verlag, Jahr:
1965
Enthalten in:
Zeitschrift für angewandte Mathematik und Physik ZAMP, 16/6(1965-11-01), 847-849
Format:
Artikel (online)
ID: 449415554