One mode of formation of pinholes in an amorphous silicon monoxide film

Verfasser / Beitragende:
[V. Mukhachev, A. Rudnev]
Ort, Verlag, Jahr:
1968
Enthalten in:
Soviet Physics Journal, 11/11(1968-11-01), 116-117
Format:
Artikel (online)
ID: 450349861