Silicon carbide thin films for EUV and soft X-ray applications
Gespeichert in:
Verfasser / Beitragende:
[G. Monaco, M. Gastaldi, P. Nicolosi, M. G. Pelizzo, E. Gilioli, S. Rampino, F. Bissoli, F. Pattini, S. Agnoli, G. Granozzi, N. Manuzzato]
Ort, Verlag, Jahr:
2009
Enthalten in:
The European Physical Journal Special Topics, 169/1(2009-03-01), 159-165
Format:
Artikel (online)
Online Zugang: