Fabrication of 3-D Submicron Glass Structures by FIB
Gespeichert in:
Verfasser / Beitragende:
[C.H. Chao, S.C. Shen, J.R. Wu]
Ort, Verlag, Jahr:
2009
Enthalten in:
Journal of Materials Engineering and Performance, 18/7(2009-10-01), 878-885
Format:
Artikel (online)
Online Zugang: