RF sputtering: A viable tool for MEMS fabrication

Verfasser / Beitragende:
[Sudhir Chandra, Vivekanand Bhatt, Ravindra Singh]
Ort, Verlag, Jahr:
2009
Enthalten in:
Sadhana, 34/4(2009-08-01), 543-556
Format:
Artikel (online)
ID: 453673449