Design and characterization of in-plane MEMS yaw rate sensor

Verfasser / Beitragende:
[K. Venkatesh, Nishad Patil, Ashok Pandey, Rudra Pratap]
Ort, Verlag, Jahr:
2009
Enthalten in:
Sadhana, 34/4(2009-08-01), 633-642
Format:
Artikel (online)
ID: 453673457