Effect of metal coating and residual stress on the resonant frequency of MEMS resonators
Gespeichert in:
Verfasser / Beitragende:
[Ashok Pandey, K. Venkatesh, Rudra Pratap]
Ort, Verlag, Jahr:
2009
Enthalten in:
Sadhana, 34/4(2009-08-01), 651-661
Format:
Artikel (online)
Online Zugang: