A new approach to integrate PLZT thin films with micro-cantilevers

Verfasser / Beitragende:
[Ravindra Singh, T. Goel, Sudhir Chandra]
Ort, Verlag, Jahr:
2009
Enthalten in:
Sadhana, 34/4(2009-08-01), 563-572
Format:
Artikel (online)
ID: 453673511