Microstructures using RF sputtered PSG film as a sacrificial layer in surface micromachining
Gespeichert in:
Verfasser / Beitragende:
[Vivekanand Bhatt, Sudhir Chandra, Chatar Singh]
Ort, Verlag, Jahr:
2009
Enthalten in:
Sadhana, 34/4(2009-08-01), 557-562
Format:
Artikel (online)
Online Zugang: