System integration design in MEMS — A case study of micromachined load cell

Verfasser / Beitragende:
[Shishir Kumar, K. Venkatesh, S. Sam Baskar, S. Madhavi]
Ort, Verlag, Jahr:
2009
Enthalten in:
Sadhana, 34/4(2009-08-01), 663-675
Format:
Artikel (online)
ID: 453673546