A novel MOEMS pressure sensor: Modelling and experimental evaluation
Gespeichert in:
Verfasser / Beitragende:
[Patricia Nieva, Jim Kuo, Shiuh-Huah Chiang, Abdullah Syed]
Ort, Verlag, Jahr:
2009
Enthalten in:
Sadhana, 34/4(2009-08-01), 615-623
Format:
Artikel (online)
Online Zugang: