Composite Si/PS membrane pressure sensors with micro and macro-porous silicon

Verfasser / Beitragende:
[L. Sujatha, Enakshi Bhattacharya]
Ort, Verlag, Jahr:
2009
Enthalten in:
Sadhana, 34/4(2009-08-01), 643-650
Format:
Artikel (online)
ID: 453673589