Investigation of plasma characteristics in an unbalanced magnetron sputtering system
Gespeichert in:
Verfasser / Beitragende:
[A. Solov'ev, N. Sochugov, K. Oskomov, S. Rabotkin]
Ort, Verlag, Jahr:
2009
Enthalten in:
Plasma Physics Reports, 35/5(2009-05-01), 399-408
Format:
Artikel (online)
Online Zugang: