Features of diffractometry of linear dimensions of single microelectronic elements
Gespeichert in:
Verfasser / Beitragende:
[S. Zvonarev, V. Kiiko, V. Naumova, V. Tarlykov]
Ort, Verlag, Jahr:
1989
Enthalten in:
Measurement Techniques, 32/11(1989-11-01), 1086-1088
Format:
Artikel (online)
Online Zugang: