caa a22 4500 467995702 CHVBK 20180323112556.0 cr unu---uuuuu 170328e19900101xx s 000 0 eng 10.1007/BF01244183 doi (NATIONALLICENCE)springer-10.1007/BF01244183 Application of total-reflection X-ray fluorescence spectrometry in material analysis [Elektronische Daten] [Peter Hoffmann, Martin Kein, Volker Scheuer, Karl Lieser] X-ray fluorescence spectrometry with total reflection conditions is applied in the qualitative and quantitative determination of impurities in thin layers of Ti, TiO2, and HfO2 prepared by evaporation and of SiO2, TiO2, and Ta2O5 prepared by ion beam sputtering. The same method is used to examine stainless steel discs, which have to be used as reference materials, Springer-Verlag, 1990 X-ray fluorescence nationallicence total reflection nationallicence thin films nationallicence analysis nationallicence Hoffmann Peter Fachbereich Anorganische Chemie und Kernchemie, Technische Hochschule Darmstadt, D-6100, Darmstadt, Federal Republic of Germany aut Kein Martin Fachbereich Anorganische Chemie und Kernchemie, Technische Hochschule Darmstadt, D-6100, Darmstadt, Federal Republic of Germany aut Scheuer Volker Fachbereich Physik, Technische Hochschule Darmstadt, D-6100, Darmstadt, Federal Republic of Germany aut Lieser Karl Fachbereich Anorganische Chemie und Kernchemie, Technische Hochschule Darmstadt, D-6100, Darmstadt, Federal Republic of Germany aut Microchimica Acta Springer-Verlag 101/1-6(1990-01-01), 305-313 0026-3672 101:1-6<305 1990 101 604 https://doi.org/10.1007/BF01244183 text/html Onlinezugriff via DOI 1 research-article jats NATIONALLICENCE 856 40 https://doi.org/10.1007/BF01244183 text/html Onlinezugriff via DOI NATIONALLICENCE 700 1- Hoffmann Peter Fachbereich Anorganische Chemie und Kernchemie, Technische Hochschule Darmstadt, D-6100, Darmstadt, Federal Republic of Germany aut NATIONALLICENCE 700 1- Kein Martin Fachbereich Anorganische Chemie und Kernchemie, Technische Hochschule Darmstadt, D-6100, Darmstadt, Federal Republic of Germany aut NATIONALLICENCE 700 1- Scheuer Volker Fachbereich Physik, Technische Hochschule Darmstadt, D-6100, Darmstadt, Federal Republic of Germany aut NATIONALLICENCE 700 1- Lieser Karl Fachbereich Anorganische Chemie und Kernchemie, Technische Hochschule Darmstadt, D-6100, Darmstadt, Federal Republic of Germany aut NATIONALLICENCE 773 0- Microchimica Acta Springer-Verlag 101/1-6(1990-01-01), 305-313 0026-3672 101:1-6<305 1990 101 604 Metadata rights reserved Springer special CC-BY-NC licence nationallicence BK010053 XK010053 XK010000 NATIONALLICENCE NATIONALLICENCE NL-springer