caa a22 4500 467995826 CHVBK 20180323112557.0 cr unu---uuuuu 170328e19900101xx s 000 0 eng 10.1007/BF01244159 doi (NATIONALLICENCE)springer-10.1007/BF01244159 Quantitative surface analysis performed with an imaging photoelectron spectrometer [Elektronische Daten] [Maria Ebel, Horst Ebel, Guido Barnegg-Golwig, Michael Mantler, Robert Svagera] The paper gives an outline of the basic principle of our imaging technique for XPS. The advantage of the concept is its excellent applicability to quantitative pixel information. This idea is verified by two examples which are representative for routine problems in XPS. These are quantitative surface analysis and determination of overlayer thicknesses. A lateral resolution of at least 0.2 mm is achieved and thus a pixel size of 0.2 mm × 0.2 mm can be quantified automatically by means of numerical algorithms without need of reference samples. Springer-Verlag, 1990 imaging photoelectron spectrometry nationallicence small spot analysis nationallicence pixel analysis nationallicence selected area analysis nationallicence quantitative surface analysis nationallicence overlayer thickness nationallicence Ebel Maria Institut für Angewandte und Technische Physik, Technische Universität Wien, Wiedner Hauptstrasse 8-10, A-1040, Wien, Austria aut Ebel Horst Institut für Angewandte und Technische Physik, Technische Universität Wien, Wiedner Hauptstrasse 8-10, A-1040, Wien, Austria aut Barnegg-Golwig Guido Institut für Angewandte und Technische Physik, Technische Universität Wien, Wiedner Hauptstrasse 8-10, A-1040, Wien, Austria aut Mantler Michael Institut für Angewandte und Technische Physik, Technische Universität Wien, Wiedner Hauptstrasse 8-10, A-1040, Wien, Austria aut Svagera Robert Institut für Angewandte und Technische Physik, Technische Universität Wien, Wiedner Hauptstrasse 8-10, A-1040, Wien, Austria aut Microchimica Acta Springer-Verlag 101/1-6(1990-01-01), 63-69 0026-3672 101:1-6<63 1990 101 604 https://doi.org/10.1007/BF01244159 text/html Onlinezugriff via DOI 1 research-article jats NATIONALLICENCE 856 40 https://doi.org/10.1007/BF01244159 text/html Onlinezugriff via DOI NATIONALLICENCE 700 1- Ebel Maria Institut für Angewandte und Technische Physik, Technische Universität Wien, Wiedner Hauptstrasse 8-10, A-1040, Wien, Austria aut NATIONALLICENCE 700 1- Ebel Horst Institut für Angewandte und Technische Physik, Technische Universität Wien, Wiedner Hauptstrasse 8-10, A-1040, Wien, Austria aut NATIONALLICENCE 700 1- Barnegg-Golwig Guido Institut für Angewandte und Technische Physik, Technische Universität Wien, Wiedner Hauptstrasse 8-10, A-1040, Wien, Austria aut NATIONALLICENCE 700 1- Mantler Michael Institut für Angewandte und Technische Physik, Technische Universität Wien, Wiedner Hauptstrasse 8-10, A-1040, Wien, Austria aut NATIONALLICENCE 700 1- Svagera Robert Institut für Angewandte und Technische Physik, Technische Universität Wien, Wiedner Hauptstrasse 8-10, A-1040, Wien, Austria aut NATIONALLICENCE 773 0- Microchimica Acta Springer-Verlag 101/1-6(1990-01-01), 63-69 0026-3672 101:1-6<63 1990 101 604 Metadata rights reserved Springer special CC-BY-NC licence nationallicence BK010053 XK010053 XK010000 NATIONALLICENCE NATIONALLICENCE NL-springer