On the Theory of Neutral and Charged Cluster Ion Sputtering of Metal
Gespeichert in:
Verfasser / Beitragende:
[V. Matveev, O. Karpova]
Ort, Verlag, Jahr:
2002
Enthalten in:
Russian Physics Journal, 45/6(2002-06-01), 539-542
Format:
Artikel (online)
Online Zugang: